① 瑞利分辨率计算器
R = k₁·λ/NA，DOF = k₂·λ/NA² —— 拖动滑块感受三大杠杆
② 摆动曲线模拟器
CD 随胶厚摆动（周期 λ/2n）—— 切换 BARC 看摆动消失
③ 工艺窗口（Bossung 曲线）
CD–离焦曲线族 + 规格带，动画拟合最大曝光宽容度×焦深矩形
④ 阿贝双光束成像动画
0 级与 +1 级衍射光干涉形成正弦空间像，σ 改变照明相干性
⑤ 光刻工艺十步流程
从衬底准备到去胶的完整链路，自动播放
Lithography Knowledge Graph · 微加工科学
R = k₁·λ/NA，DOF = k₂·λ/NA² —— 拖动滑块感受三大杠杆
CD 随胶厚摆动（周期 λ/2n）—— 切换 BARC 看摆动消失
CD–离焦曲线族 + 规格带，动画拟合最大曝光宽容度×焦深矩形
0 级与 +1 级衍射光干涉形成正弦空间像，σ 改变照明相干性
从衬底准备到去胶的完整链路，自动播放
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